电化学微纳加工:理论和实践

发布日期:2017-2-15     浏览次数:1454次    发布者:刘春英    

       我院田中群院士、詹东平教授课题组受邀撰写的综述性论文“Electrochemical Micro/Nano-Machining: Principles and Practices”发表于英国皇家化学会期刊Chemical Society Reviews(Chem.Soc.Rev., 2017, DOI: 10.1039/c6cs00735j)。

       由于超大规模集成电路、微机电系统、小型化的微全分析系统、现代精密光学等对超光滑表面和功能性三维微/纳米结构的日益增长的工业需求,微纳制造已成为高科技制造的研究前沿。与传统微纳制造技术相比,电化学微纳制造技术克服了刀具损伤、工件表面损伤、热效应和残余应力等技术难题,具有去除速率高、适合于加工复杂面型的三维结构、适用于难加工材料等独特优势,在微纳制造领域具有不可替代的一席之地。论文围绕“如何将电化学反应约束在微纳尺度”这一核心科学问题,系统介绍了各种电化学直写技术、三维微纳结构制造和表面平面化及抛光技术的原理和应用,并指出了电化学微纳制造亟待解决的问题和未来的发展方向。

       詹东平教授课题组面向国家重大产业需求,坚持“原理、方法和仪器”三驾马车的科研理念,针对电化学微纳制造中的表界面问题,开展微纳尺度电极过程反应动力学的基础研究,并发展了一系列原创性的电化学微纳制造技术,在JACS、Angew. Chem. Int. Ed.、Chem. Sci.等发表了一系列研究成果,引起了国内外学术界的广泛关注。该文中所引述的大部分工作均来自于该课题组在电化学微纳制造领域的创新性实践。

                 

       该工作得到国家自然科学基金委((批准号:21327002, 91323303, 21573054, 21273182 和 21321062)的支持。

       文章链接:http://pubs.rsc.org/en/Content/ArticleLanding/2017/CS/C6CS00735J#!divAbstract